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無塵車間也稱為無塵室，潔凈室，空氣中的有害空氣污染物，在細菌的影響下，一些顆粒被排除在外，和房間的溫度，潔凈度，環(huán)境壓力，氣流速度與氣流分布，噪音振動及照明，靜電控制在一定的應(yīng)用，并給予特別設(shè)計的無塵車間。換句話說，無論怎么變化在外部空氣的條件下，其內(nèi)部可能保留了原來的要求的其他性能特征的潔凈度

無塵車間應(yīng)該維持一定的正壓，可通過送風量大于排風量的辦法達到。不同等級的無塵車間以及無塵區(qū)與非無塵區(qū)之間的靜壓差應(yīng)大于或等于5Pa，無塵區(qū)與室外的靜壓差應(yīng)大于或等于10Pa。工藝過程產(chǎn)生大量粉塵、有害物質(zhì)、易燃易爆物質(zhì)的工序，其操作室與其他房間或區(qū)域之間應(yīng)保持相對負壓。

到目前為止，在半導(dǎo)體無塵車間、潔凈室中**迫切需要適當控制的是光刻膠的敏感性。由于光刻膠對相對濕度極為敏感的特性，它對相對濕度的控制范圍的要求是**嚴格的水準。在高的相對濕度環(huán)境下，由于水分的吸收，使烘烤循環(huán)后光刻膠膨脹加重。光刻膠附著力同樣也可以受到較高的相對濕度的負面影響；較低的相對濕度（約30%）使光刻膠附著更加容易，甚至不需要聚合改性劑，