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用臭氧氧化法處理廢水所使用的是含低濃度臭氧的空氣或氧氣。臭氧是一種不穩(wěn)定、易分解的強氧化劑，因此要現(xiàn)場制造。臭氧氧化法水處理的工藝設施主要由臭氧發(fā)生器和氣水接觸設備組成。大規(guī)模生產臭氧的**方法是無聲放電法。制造臭氧的原料氣是空氣或氧氣。

原料氣應該經過除油、除濕、除塵等凈化處理，否則會影響臭氧產率和設備的正常使用。用空氣制成臭氧的濃度一般為10~20毫克/升;用氧氣制成臭氧的濃度為20~40毫克/升。這種含有1~4%(重量比)臭氧的空氣或氧氣就是水處理時所使用的臭氧化氣。

臭氧發(fā)生器所產生的臭氧，通過氣水接觸設備擴散于待處理水中，通常是采用微孔擴散器、鼓泡塔或噴射器、渦輪混合器等。臭氧的利用率要力求達到90%以上，剩余臭氧隨尾氣外排，為避免污染空氣，尾氣可用活性炭或霍加拉特劑催化分解，也可用催化燃燒法使臭氧分解。

生物活性炭組合工藝也涉及到臭氧氧化技術。臭氧氧化技術具有氧化能力強、反應速度快、不產生污泥、無二次污染的特點。臭氧能夠有效的氧化分解廢水中的有機物和氨氮，具有接觸時間短、處理效率高、不受溫度影響等特點，并具有殺菌、除臭、除味、脫色等功能。

臭氧之所以表現(xiàn)出強氧化性，是因為分子中的氧原子具有強烈的親電子或親質子性，臭氧分解產生的新生態(tài)氧原子也具有很高的氧化活性。并且，證明對于處理洗浴廢水中陰離子洗滌劑氧化降解，具有較好的效果。但是，臭氧與有機物反應具有選擇性，不易將所有有機物*分解為CO2和H2O。

因此，一般采用臭氧氧化與其它處理方法聯(lián)用的工藝，去廢水中有機污染物的方法應用較為廣，如臭氧與活性炭聯(lián)合，臭氧與膜聯(lián)合等。