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**各國均有自定規(guī)格，但普遍依據(jù)美國聯(lián)邦政府頒布的標(biāo)準(zhǔn)【FederalStandard(FS)209E,1992】，可將無塵室分為六級(jí)。分別是1級(jí)、10級(jí)、100級(jí)、1000級(jí)、10000級(jí)、100000級(jí)，如果無塵室的等級(jí)只用塵粒數(shù)目來敘述，則可假設(shè)塵粒的尺寸為0.5μm，例如，1級(jí)、10級(jí)、100級(jí)無塵室**大塵粒數(shù)目分別小于或等于1顆、10顆、100顆，如果塵粒尺寸不是0.5μm，無塵室等級(jí)應(yīng)以在一特定塵粒尺寸的級(jí)數(shù)來表示。例如：10級(jí)在0.2μm(塵粒尺寸在0.2μm或更大下，密度不大于75顆/立方英尺)，1級(jí)在0.1μm(塵粒尺寸在0.1μm或更大下，密度不大于35顆/立方英尺)。

萬級(jí)凈化車間的潔凈度：潔凈度10000級(jí)cleanlinessclass10000(p2萬級(jí)實(shí)驗(yàn)室即ISO7級(jí))即大于等于0.5μm的塵粒數(shù)大于35000粒/m3(35粒/L)到小于等于350000粒/m3(350粒/L);大于等于5μm的塵粒數(shù)大于300粒/m3(0.3粒/L)到小于等于3000粒/m3(3粒/L)。

壓差及溫濕度控制：

1)溫度:干盤管系統(tǒng)控制。

2)濕度:空調(diào)箱調(diào)節(jié)通過感測的信號(hào),控制三通閥開度來調(diào)節(jié)空調(diào)箱盤管進(jìn)水量。

3)正壓:空調(diào)箱調(diào)節(jié),根據(jù)靜壓感測的信號(hào),自動(dòng)調(diào)節(jié)空調(diào)箱馬達(dá)變頻器的頻率,從而調(diào)節(jié)進(jìn)入室內(nèi)的新風(fēng)量。

檢測標(biāo)準(zhǔn)：

氣流速度及其均勻度檢測，是無塵室效果的其他各項(xiàng)檢測的前提，這項(xiàng)檢測的目的是為了明確單向流無塵室工作區(qū)的平均氣流通度及其均勻性。

1)室內(nèi)潔凈度的檢測：潔凈度的檢測是為了確定潔凈環(huán)境可達(dá)到的空氣潔凈度**，可采用粒子計(jì)數(shù)器檢測。

2)自凈時(shí)間的檢測：通過確定自凈時(shí)間，查明潔凈室內(nèi)部發(fā)生污染時(shí)恢復(fù)其原有潔凈度的能力。

3)照度的檢測：照度檢測的目的是為了判明潔凈室的照度水平和照度的均勻性。

4)振動(dòng)的檢測：振動(dòng)檢測的目的是為了判明無塵室各表明的振動(dòng)幅度。

5)溫、濕度的檢測：溫、濕度檢測的目的是把溫度、濕度調(diào)整到一定限度內(nèi)的能力。其內(nèi)容包括檢測無塵室的送風(fēng)溫度，檢測有代表性測點(diǎn)的空氣溫度，檢測無塵室中心點(diǎn)的空氣溫度，檢測敏感元件處的空氣度，檢測室內(nèi)空氣相對(duì)溫度，檢測回風(fēng)溫度。